射频集成电感器的快速傅立叶变换模拟及制备

作者：向三名; 章吉良; 张明生

来源：微细加工技术, 2002, (01): 40-44.

• 集成电感器
• 快速傅立叶变换法(FFT)
• 磁镜像法
• MMIC

应用磁镜像法和快速傅立叶变换 (FFT)法对单片微波集成电路 (MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了电磁学模拟 ,并把模拟结果和有限元法 (FEM )模拟的结果[1] 进行了比较。根据模拟结果 ,对薄膜平面射频集成电感器结构参数和加工参数进行了优化 ,改进了薄膜平面射频集成电感器的工艺方案。最后结合薄膜平面射频集成电感器薄膜的高频损耗分析 ,讨论了平面薄膜集成电感器薄膜微细加工技术

• 出版日期2002
• 单位上海交通大学