鲁棒控制在高速运动控制中的应用研究

作者：尚美杰; 刘丹; 崔洁; 徐品烈; 肖雅静

来源：电子工业专用设备, 2015, 44(12): 42-46.

• 鲁棒控制
• H_∞控制
• 高速运动控制

半导体封装设备中对运动控制有着较高的要求,尤其对于需要高速运行的设备来说,传统的PID控制已经不能满足要求。研究了高速运动控制下鲁棒控制的应用,系统地介绍了一套H_∞鲁棒控制器的设计方法,最后通过仿真及实验的例子验证了鲁棒控制在高速运动控制上的优越性。

• 出版日期2015
• 单位中国电子科技集团公司第四十五研究所