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摘要
本发明公开了一种直通型电液动力微泵,包括自下而上依次设置的下底板、兼做腔壁的密封硅胶垫、盖板；下底板的左右两端分别开设有向下凹陷的用于引流的窄腔,窄腔为工质流动的过渡曲面；各窄腔分别与导入管和导出管连通；密封硅胶垫的中部为镂空结构,该镂空结构形成一空腔,空腔的面积覆盖并连通左右两端的窄腔；盖板的下表面刻蚀有梳状电极阵列；梳状电极阵列置于密封硅胶的空腔围成的区域内；下底板、密封硅胶垫和盖板之间密封结合,使梳状电极阵列被密封在由密封硅胶垫的空腔围成的密封腔体内,构成电液动力微泵加速区的流道。本直通型电液动力微泵在微流体驱动领域具有独特的使用价值和广阔的应用前景。
- 出版日期2017-5-18
- 单位华南理工大学
