离子束引起的在Al/Cr双层薄膜界面处的原子混合

作者：吴美珍刘惠珍寿焕根侯明东

来源：原子与分子物理学报, 1991, (04): 2006-2011.

• 离子束混合
• 原子混合扩展量
• 辐射增强扩散
• 化学效应 Ion beam mixing
• Atomic mixing broadening radiation -enhanced diffusion
• Chemical effect.

用600keV的Kr~+离子轰击Al/Cr双层薄膜样品进行界面原子反应及相互混合的研究。实验样品是在单晶硅上蒸镀约500nm厚的铝膜,相继再蒸上所需厚度的铬膜而制成的。轰击剂量为2.0×10~(15)-2.5×10~(16)Kr~+/cm~2。用2.0MeVa粒子对轰击前后的样品进行了卢瑟福背散射(RBS)分析,发现界面处有明显的原子混合存在;当轰击剂量≥1.0×10~(16)Kr~+/cm~2时,RBS谱出现有明显的坪台,经拟合计算和x射线衍射(XRD)测量证实确有化合物Al_(13)Cr_2存在;还分别得到了原子混合量及混合效率与轰击剂量的关系;最后对界面处的原子混合机制进行了讨论。

• 出版日期1991
• 单位东华大学; 中国科学院近代物理研究所