摘要

论述了精密位置控制系统的组成和功能。建立了精密位置反馈控制系统的数学模型。采用PID控制算法对微米级的润滑膜厚度进行反馈控制。通过MATLAB语言的SIMULINK软件包仿真研究了精密位置反馈控制系统的动态特性。指出参数Kp、Ki 和Kd 值的选取对该精密位置反馈控制系统的设计是非常重要的。