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A 3-D surface evolvement algorithm for silicon etching simulations
作者:Zhang, Jian
*
; Qi, Hao Chen; Xu, Dong Liang; Hu, Zhi Wen
来源:
Acta Electronica Sinica
, 2011, 39(8): 1869-1872.
Gauss integrations
Isotropic etching
Parametric surfaces
Physical model
Process simulations
Silicon etching
Surface cells
Surface evolution
出版日期
2011
单位
合肥工业大学
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