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Nanotransfer Printing with sub-10 nm Resolution Realized using Directed Self-Assembly
作者：Jeong Jae Won; Park Woon Ik; Do Lee Mi; Park Jong Hyun; Kim Tae Heon; Chae Geesung; Jung Yeon Sik
*
来源：
Advanced Materials
, 2012, 24(26): 3526-3531.
DOI：10.1002/adma.201200356
nanotransfer printing
soft lithography
block copolymers
self-assembly
polydimethylsiloxane
出版日期
2012-7-10
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