SOI波导弯曲损耗改善方法的研究

作者：陈媛媛; 余金中; 陈少武; 樊中朝

来源：红外与毫米波学报, 2005, (01): 53-55.

• 集成光学
• 弯曲损耗
• BPM
• SOI波导

采用有效折射率方法EIM (EffectiveIndexMethod)和二维束传播算法 (2D BPM)对SOI(Silicon on insulator)波导弯曲损耗的改善方法进行了模拟分析.模拟发现,在波导连接处引入偏移量和在波导外侧刻槽等两种不同方法都能有效减小弯曲损耗,并且后者的效果更明显.同时通过实验获得了验证.对R=16mm、横向位移为 70μm的弯曲波导,通过刻槽方法将插入损耗降低了 5dB,基本消除了弯曲所带来的附加损耗.

• 出版日期2005-2-25
• 单位中国科学院半导体研究所