基于激光热裂纹控制法,提出了多焦点激光分离厚透明材料的方法。通过理论计算与ZEMAX软件模拟相结合的方式,设计了能形成三个焦点的光路系统,并利用该系统进行了夹层玻璃、磷酸二氢钾(KDP)晶体、超白玻璃等透明材料的切割分离实验。结果表明,利用该方法得到的表面平整光滑,无亚表面损伤,粗糙度小,有效解决了单个激光焦点热裂纹分离方法受材料厚度限制的问题,该方法具有很大的应用前景。
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