纳米多层膜的微结构与超硬效应

作者：李**; 许俊华; 顾明元

来源：上海交通大学学报, 2001, (03): 457-461.

DOI：10.16183/j.cnki.jsjtu.2001.03.032

• 多层膜
• 微结构
• 界面结构
• 超硬效应
• 交变应力场 multiplayer films
• microstructure
• interface structure
• superhardness effect
• alternating stress field

对所研究的 8种纳米多层膜 (Ti N/Nb N、Ti N/Ta N、Ti N/Ta WN、Ti N/Al N、Nb N/Ta N、Ti N/Si3N4 、W/Si C和 W/Mo)的晶体结构、调制结构、生长方式和界面结构类型以及它们的超硬度效应特征进行了总结和讨论 .结果认为 ,界面共格应变或其他原因所导致的交变应力场对薄膜造成的强化作用是纳米多层膜产生超硬效应的主要原因之一 .

• 出版日期2001
• 单位上海交通大学