氮碳共渗白层的疏松是影响其性能的重要因素之一，氮化物的分解以及氮原子重组为氮气分子为白层疏松形成的最重要机制。疏松的形成与材料种类、氮碳共渗工艺时间、工艺温度以及白层中氮碳浓度有关，白层中氮碳浓度又直接和气氛的氮势KN值和碳势KC值有关。一个典型氮碳共渗工艺中白层疏松的控制是对升温阶段、保温阶段和降温阶段整个工艺阶段的控制。
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