摘要

微铣削加工技术在精密三维微小零件制造中的应用,引发了微细制造领域的重大技术变革,其区别于MEMS技术和超精密加工技术,是利用传统铣削加工方式并针对微米和中间尺度微小零件进行高效率、高精度微细制造的有效途径,具有加工材料的多样性和能实现三维曲面加工的独特优势。论文通过综合国内外大量文献,对微铣床设备研发、微铣削表面形貌、表面粗糙度与微毛刺及微铣刀具磨损等进行讨论,指出微铣削加工相关技术研究存在的不足并对该领域的发展提出自己的观点。