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摘要
通常采用均镀能力(TP)来评价金属化的均匀性和完整性。但广泛采用的大样品量测量取平均值的方法分析不全面,导致结论存在局限性或不准确性。本文主要介绍方差分析和Tukey多重比较的方法的原理及其在统计TP的测试数据中的应用价值,并通过举例说明与平均值方法进行比较。采用数据分析软件中的方差分析和多重比较方法,在判断实验因素在所选水平区间内TP平均值接近时该因素对TP影响的显著性、不同实验人员重复同一实验的TP平均值不一致时数据的可靠性、同一实验人员重复实验的数据不一致时误差的来源等方面,具有显著的优势。
- 出版日期2018
- 单位电子科技大学; 广东光华科技股份有限公司; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 博敏电子股份有限公司
