大尺寸SIC空间反射镜离子束加工热效应分析与抑制

作者：许艳军; 赵宇宸; 沙巍; 齐光

来源：红外与激光工程, 2014, (08): 2556-2561.

• 空间反射镜
• 离子束加工
• 热效应
• 抑制 TMA space camera
• ion beam processing
• thermal effect
• suppress

离子束加工中从离子源射出的高速离子撞击光学反射镜表面,离子的动能转化成热能以及中和灯丝的热辐射作用,使反射镜温度急剧升高。反射镜温升过快,会导致柔性连接结构胶结部位发生不可逆的非线性变化,并且热膨胀使实际加工位置和理想加工位置发生偏移,增加了加工误差,因此需要对加工过程中产生的热效应进行抑制。提出了通过规划加工路径和增强散热的方法,增强加工过程的散热,控制反射镜的温度。针对600mm×260mm的某主反射镜,对增强散热前后不同加工路径的离子束加工进行了研究和有限元分析。分析表明:加工路径的选择、增强散热对反射镜的温度分布有较大影响,增强散热前,采用横栅格加工路径,反射镜最高温度为35.8℃,对...

• 出版日期2014
• 单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 中国科学院大学