Si衬底和Si-SiO_2-Si柔性衬底上的GaN生长

作者：王军喜; 王晓亮; 刘宏新; 胡国新; 李建平; 李晋闽; 曾一平

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2004, (06): 678-681.

• 分子束外延
• GaN
• 柔性衬底
• 光致发光 MBE
• GaN
• compliant substrate
• photoluminescence

使用MBE方法在Si(111)衬底和Si SiO2 Si柔性衬底上生长了GaN外延层 ,并对在两种衬底上生长的样品进行了对比分析 .在柔性衬底上获得了无裂纹的外延层 ,其表面粗糙度为 0 6nm .研究了GaN外延层中的应力及其光学性质 ,光致发光测试结果表明柔性衬底上生长的外延层中应力和杂质浓度明显低于直接生长在Si衬底上的样品的值 .研究结果显示了所用柔性衬底有助于改善GaN外延膜的质量

• 出版日期2004
• 单位中国科学院半导体研究所