基于区域分割的枝切与最小二乘法相位解包裹融合算法

作者：吴旭辉; 刘娇娇; 王丙楠; 刘旭东; 王进卿^*

来源：激光杂志, 2023, 1-10.

• 相位解包裹
• 纳米台阶
• 部分相干光
• 区域分割

针对纳米台阶物体的形貌测量要求，设计与搭建了部分相干光离轴像面干涉测量系统。相位解包裹作为干涉测量的关键环节，要求速度快、精度高、适应性强。本文分析了5种常用相位解包裹算法的特点，并结合纳米台阶的形貌特点提出了一种基于区域分割的融合算法。该算法通过光强度图与枝切线结合求解各分割区域的质量，在高、低质量区域分别用无权最小二乘法与枝切法相位展开，以满足测量实时性与精确性的要求。实验结果表明：本文所提算法具有较强的抗噪性，其计算耗时仅为枝切法的27.92%，对65.1纳米台阶高度样板测量相对误差仅为1.1%，对残差点具有一定抗干扰性，在纳米台阶形貌测量方面具有一定应用价值。

• 出版日期2023
• 单位中国计量大学