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摘要
本发明公开一种压电冲击驱动二维并联跨尺度精密定位平台,由动子、柔性支架、基座和压电驱动器组成二维的微动平台,微动平台固定在底座的上方,磁铁固定在底座的中心并穿过动子的通孔,动子四角位置的小球与平板最下层的耐磨层摩擦耦合,平板次下层的铁磁层受磁铁吸引形成与动子之间的预压力,在压电驱动器的锯齿波电压作用下实现平板二维并联跨尺度精密运动。本发明结构紧凑、控制方便、位移分辨率高、响应速度快、运动行程大,可进一步提升压电精密定位平台在STM、AFM等显微系统中的应用效果。
- 出版日期2019-7-10
- 单位合肥工业大学
