大范围快速AFM的高速高精度控制系统

作者：邓卫梅; 薛虹; 陈代谢; 殷伯华; 韩立

来源：仪表技术与传感器, 2015, (01): 53-55.

• 原子力显微镜
• DSP
• FPGA
• FIFO
• PID
• 噪声 AFM
• DSP
• FPGA
• FIFO
• PID
• noise

针对原子力显微镜难以同时实现快速、高精度、大范围扫描成像的不足,逐渐出现了带两级扫描器的原子力显微镜。基于自行研制的大范围快速原子力显微镜(含两级扫描器),为其设计了一种以DSP_FPGA为核心的高速高精度控制系统。包括DSP和FPGA间数据传输模式和相互配置等关键技术的设计,然后嵌入PI控制器,最后用实验验证了控制系统的有效性。

• 出版日期2015
• 单位中国科学院大学; 中国科学院电工研究所