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摘要
电子束曝光数据格式是针对电子束曝光系统设计的、可被曝光机直接识别的一种专用电子束曝光图形数据格式。利用VC++开发环境实现了该格式文件的创建,主要包括曝光版图的图形绘制、属性设置、结构体引用以及文件保存。实验结果表明,利用此软件可创建满足各种需求的曝光版图文件,从而便于进行电子束曝光的相关实验。
- 出版日期2008
- 单位中国科学院电工研究所; 山东理工大学
电子束曝光数据格式是针对电子束曝光系统设计的、可被曝光机直接识别的一种专用电子束曝光图形数据格式。利用VC++开发环境实现了该格式文件的创建,主要包括曝光版图的图形绘制、属性设置、结构体引用以及文件保存。实验结果表明,利用此软件可创建满足各种需求的曝光版图文件,从而便于进行电子束曝光的相关实验。
