惰性气体离子辅助产生Ca~+、He~+及其注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析

作者：郑思孝; 罗顺忠; 廖小东; 龙兴贵; 彭述明; 王培禄; 刘仲阳; 刘宁

来源：核技术, 2003, (05): 341-345.

• Ca、He离子注入
• 纳米钛膜
• 微观结构 Ca
• He ions implantation
• Nano-titanium film
• Microstructure

介绍了由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca+、He+的研究及其分别注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析。Ca+ 注入Ti箔样品的XPX分析表明:在1×1018/cm2注入剂量下,Ca的含量达到33﹪,注入Ca在钛表面主要形成CaTiO3、CaO和TiO2的化学结合的方式与钛基体连接;He+注入纳米钛样品的XRD的衍射谱在15—40°范围内明显分裂及变得较为尖锐,由谢乐公式计算出的纳米膜样品在(100)(101)晶面晶粒粒度大小分别为20.2nm和19.3nm,表明纳米钛膜注氦后仍保持纳米尺度。而AFM在微米视场下观察到纳米钛膜的表层粒子粒度虽有所长大,但在纳米视场却观察到大量的亚结构,结合AFM观...

• 出版日期2003
• 单位辐射物理及技术教育部重点实验室; 中国工程物理研究院核物理与化学研究所; 四川大学