多丝切割技术及其关键

作者：程志华; 黄伟; 裴仁清

来源：工具技术, 2010, (06): 51-53.

DOI：10.16567/j.cnki.1000-7008.2010.06.010

• 多丝切割
• 磨粒
• 滚—刻—削
• 走丝系统 multi-wire sawing
• granule
• roll-indent-chipping
• wire system

多丝切割是一种新型的硅片切片加工方法,具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。本文论述了多丝切割机的切割加工过程、切割加工机理,提出了加工中的几个要点。

• 出版日期2010
• 单位上海大学