雪崩光电二极管芯片自动测试系统

作者：杨红伟; 张岩; 齐利芳; 尹顺政

来源：半导体技术, 2015, (06): 473-477.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2015.06.014

• 雪崩光电二极管芯片
• 击穿电压
• 穿通电压
• 暗电流
• 测试系统 avalanche photodiode
• breakdown voltage
• punch-through voltage
• dark current
• test system

利用Keithley 2400源表、AV6381可编程光衰减器、AV 38124 1 550 nm单模半导体激光器和TZ-608B型光电屏蔽探针台搭建雪崩光电二极管芯片自动测试系统。在Labview环境下开发了自动测试软件,通过软件控制测量仪表,实现了雪崩光电二极管芯片的击穿电压、暗电流、穿通电压及10倍增益工作点电压的自动测试及合格判定。探针台可以根据测量系统反馈的判定结果对不合格芯片进行NG标记,方便划片后对不合格芯片进行筛选和剔除。建立的自动测试系统准确性高,测试速度快,软件操作方便,显示结果直观。同时可以实现测试参数的自动存储,方便进行统计过程控制(SPC)分析。

• 出版日期2015-6-3
• 单位中国电子科技集团公司第十三研究所