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摘要
<正>和温度打交道20年，他与研究团队一起建立了硅单晶炉的智能温控系统，攻克了集成电路刻蚀工艺的温控难关，解决了集成电路制造领域专用温控设备长期被国外垄断及“卡脖子”的问题，填补了国内空白——他就是北控集团所属北京京仪自动化装备技术股份有限公司产品部技术总监何茂栋。“可以说，在这个小小的领域中，我们突破了国外技术的垄断。目前，我们创新工作室开发的温控设备已覆盖了国内所有的8英寸及12英寸集成电路制造生产线，并销往国内主流的半导体厂家，实现了批量生产应用，技术达到国际先进水平。”何茂栋自豪地说。
- 出版日期2022
