对超声振动辅助激光加工铝表面的微观形貌进行研究，分析材料表面激光烧蚀阈值的计算方法，通过试验研究了激光脉冲频率和超声振动对激光烧蚀凹坑直径的影响。研究发现，引入超声振动后，凹坑直径降低0.67～2.82μm,烧蚀阈值由5.76 J/cm2增加到6.52 J/cm2,扫描速度100 mm/s时，轨迹宽度由46.3μm增加到62.2μm,并可以制备一种特殊椭球体结构，降低表面粗糙度。
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