纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量(英文)

作者：程方; 范光照; 费业泰

来源：纳米技术与精密工程, 2010, (02): 107-113.

DOI：10.13494/j.npe.2010.020

• 纳米三坐标测量机
• 接触式测头
• 单方向重复性
• 预行程
• 二次触发 nano-coordinate measuring machine(CMM)
• touch probe
• unidirectional repeatability
• pre-travel
• double-trigger

提出了一种用于纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量的方法.确定了预行程需侦测接触点和触发点两个关键点.为了对该高灵敏度的测头进行标定,整个实验系统需要3个基本条件:纳米级驱动器,高分辨率传感器和多级速度控制算法.本研究使用一种超声波马达HR4在同一平台上实现大行程粗略驱动以及微位移调整.位移测量使用光栅传感器LDGI(linear diffraction grating interferometer),其分辨率可达1nm.在测试过程中采用高速逼近和低速触发,使用"双触发"方式获得触发点位置.接触点位置的侦测使用开关电路.触发信号和位移信号由同一块数据采集卡同步采集.实验表明,使用该方法测量预行...

• 出版日期2010
• 单位合肥工业大学