大气压非平衡等离子体源参数对输出等离子体浓度的影响及其机理分析

作者：周建刚

来源：高电压技术, 2014, (07): 2071-2076.

DOI：10.13336/j.1003-6520.hve.2014.07.021

• 大气压
• 非平衡
• 等离子体源
• 强电离放电
• 等离子体浓度
• 介质阻挡放电 atmospheric pressure
• non-equilibrium
• plasma source
• strong ionization discharge
• plasma density
• dielectric barrier discharge

为研究各个参数对大气压非平衡等离子体源的影响,给进一步探讨其机制提供依据,在保持其他参数不变的前提下,变化大气压非平衡等离子体源的某一个参数,用DLY-3型大气离子数密度测量仪测量其输出等离子体中离子的数密度。结果表明:在击穿限度内输出的离子数密度随外加电压升高而升高;在空气体积流量不影响放电空间分布的前提下,输出的离子数密度随体积流量增加而升高;在4.7~10 kHz范围内输出的离子数密度随交流电源频率增加而升高;在2种实验放电间隙中,小间隙(0.64 mm)比大间隙(1.00 mm)的输出离子数密度高。在各个参数可调控的条件下所做的等离子体浓度测量可定量地描述等离子体系统的状态及其相应变化...

• 出版日期2014
• 单位大连大学