MEMS微波/毫米波TaN薄膜负载电阻的设计与实现

作者：李倩; 汪蔚; 杨拥军; 杨志

来源：微纳电子技术, 2017, 54(05): 336-341.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2017.05.008

• 微电子机械系统(MEMS)
• TaN薄膜
• 负载电阻
• 毫米波
• 隔离器

开展了一种基于MEMS工艺的微波/毫米波薄膜负载电阻的结构设计和工艺实现,该负载电阻选择TaN作为薄膜材料,高阻硅为基底材料,仿真设计并优化了三种新型结构,给出了一套MEMS TaN薄膜负载电阻制备的工艺流程,并针对该工艺流程方案进行了关键参数的工艺误差仿真,实现了适用于2040 GHz频率内的三种MEMS TaN薄膜负载电阻的工艺制作和测试。测试结果表明,结构一、结构二和结构三的回波损耗分别小于-22,-18和-18.5 dB,并将结构一成功运用于3234 GHz毫米波频段内的MEMS隔离器,MEMS隔离器的隔离度大于25 dB,插入损耗小于0.5 dB。MEMS TaN薄膜负载电阻具有很好的负载吸收功能,适合微波/毫米波通信发展需求。

• 出版日期2017
• 单位中国电子科技集团公司第十三研究所; 专用集成电路重点实验室