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摘要
基于近场探针的太赫兹扫描成像系统能够突破衍射极限探究物质隐藏的细节，但是传统基于微纳加工工艺的近场探针存在工艺复杂、传输损耗较大的缺点。提出了一种基于空心圆波导的渐变开口圆锥形近场探针设计方法，所设计的探针能够通过圆波导实现低损耗传输，同时利用渐变开口圆锥形针尖实现亚波长聚焦。为了验证方法的可行性，采用3D打印技术对所设计的探针进行加工，然后基于高精度三维扫描平台搭建了一套0.1 THz近场扫描成像系统。实验结果表明该探针能够实现亚波长超分辨聚焦，实验结果与仿真结果一致。
- 出版日期2023
- 单位南开大学
