随着啁啾脉冲放大技术的发展,为用拼接的方法获得大尺寸衍射光栅已经成为一项急待解决的课题.本文从拼接的六种偏差出发,通过比较不同的消除方法,将拼接法分为:补偿拼接法、干涉拼接法、远场光斑拼接法和平移曝光法,为用拼接法获得大尺寸光栅提供了理论依据.
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