通过不同Al含量的真空感应熔炼Ti1-x-Alx合金靶,采用多弧离子镀技术制备了Ti1-xAlxN涂层。用SEM,EDS等手段研究Al元素对涂层微观形貌和涂层成分的影响。结果表明,TiAlN涂层连续、光滑、孔隙率低、组织致密。随着Al含量的增加,涂层沉积效率降低、涂层硬度增加、涂层膜/基结合力先降低后升高。靶材成分还在一定程度上影响涂层的熔滴密度以及成分偏离程度。
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