纳米结构的制备及其应用

作者：卢刚; 毛胜春

来源：微电子学, 2002, (06): 416-418.

• 纳米结构
• 单电子晶体管
• 量子线
• 量子点

介绍了用电子束光刻、反应离子刻蚀方法制备硅量子线、量子点的工艺方法;采用这种工艺在P型SIMOX(separationbyimplantedoxygen)硅片上成功地制造出一种单电子晶体管。

• 出版日期2002-12-25
• 单位西安理工大学