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摘要
采用真空热蒸发和电子束蒸发方法,制备了Al和MgF2多层滤光膜,并在100,150,200,300℃的真空环境中进行了热处理,考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响。结果表明,经过真空热处理后,滤光膜表面粗糙度降低,峰值透射率升高,半宽度增大。随着在实验室干燥环境中放置时间的增加,未热处理以及300℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动,峰值透射率降低,可见光抑制特性减弱。而150,200℃热处理样品的透射率峰位移动很小,峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变,具有很好的环境稳定性。
- 出版日期2008-2-15
- 单位同济大学
