AZ5214E反转光刻胶的性能研究及其在剥离工艺中的应用

作者：陈光红; 于映; 罗仲梓; 吴清鑫

来源：功能材料, 2005, (03): 431-433+440.

• AZ5214E
• 反转
• 剥离 AZ5214E
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研究了AZ5214E反转光刻胶的性能并选择适当的工艺可制得利于剥离的倒台面,并将其应用于射频MEMS开关的制作中剥离厚 2μm的金薄膜。用扫描电镜(SEM)测出胶的侧壁为倒台面。

• 出版日期2005
• 单位福州大学; 厦门大学