Al原子在Pb基底上的沉积过程研究

作者：黄晓玉; 程新路; 徐嘉靖; 吴卫东

来源：Acta Physica Sinica, 2012, (01): 386-391.

• Pb/Al体系
• 沉积过程
• 分子动力学
• 入射能 Al/Pb system
• deposition process
• molecular dynamics
• incident energy

利用分子动力学方法模拟了A1原子在Pb基底上的沉积过程.对A1原子在Pb基底(001)面上沉积的形态与Pb原子在A1(001)基底上沉积的形态做了比较.由于界面间势垒的不同,两个体系界面间的形态有明显的差异.分析了基底温度、基底晶面指向、沉积原子的入射动能对界面间原子混合的影响.模拟结果显示:随着基底温度升高.基底原子的可移动性大大增加,与沉积原子发生较大程度的混合;入射能的改变对界面问原子的混合影响很小:基底表面取不同的晶格指向时,基底与沉积原子间的混合行为也有明显的不同.利用径向分布函数分析了沉积原子的入射能对薄膜中原子排列有序性的影响.较高入射能对应更有序的薄膜结构;由径向分布函数的结构...

• 出版日期2012
• 单位四川大学; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心