刻蚀转移掩蔽膜用单分散SiO2纳米小球制备

作者：王影; 王权岱; 肖继明; 王莉; 李鹏阳

来源：功能材料, 2016, 47(05): 5212-5216.

DOI：10.3969/j.issn.1001-9731.2016.05.040

• 单分散
• SiO2小球
• 制备
• 团聚现象

在无水乙醇中以氨作催化剂,正硅酸乙酯为硅源,通过传统溶胶-凝胶工艺制备单分散SiO2球形颗粒,通过扫描电子显微镜(SEM)进行研究各种反应条件正硅酸乙酯、氨和水的浓度、水解温度等对SiO2小球颗粒大小和形貌的影响。结果显示,正硅酸乙酯、氨水浓度增加而SiO2小球粒径增大;去离子水量的增加而SiO2小球粒径变小;温度升高团聚现象明显减少;陈化时间影响团聚,但团聚现象是可逆变化。讨论了SiO2小球颗粒在不同反应条件下的形成机理,以及由于SiO2纳米小球的表面能高、稳定性差、使用中易产生团聚现象原因及解决的方法。

• 出版日期2016
• 单位西安理工大学; 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室