SnO_2光透射率气敏薄膜的制备

作者：郭竹远; 边志华

来源：电子工艺技术, 2005, (01): 32-34.

• 二氧化锡
• 气敏
• 薄膜
• 光透射率
• 溶胶-凝胶法 SnO_2
• Gas sensitive
• Thin film
• Transmittance
• Sol-gel method

采用溶胶-凝胶技术,利用旋转涂膜法制备非晶态二氧化锡薄膜,常温下在含有CO的气氛中光通过薄膜的透射率变大,对CO有较高的灵敏度。对制备过程中出现的实验现象、制备机理及薄膜的结构和特性进行了研究。

• 出版日期2005
• 单位太原理工大学