摘要

利用透射电子显微术(TEM)观察了单晶 Si维氏压痕区的结构转变平视和截面像相结合给出了压痕诱导 Si非晶化的轮廓图.其区域为与医头相似的倒四棱锥金字塔形,但其棱边夹角小于相对应的压头相对棱夹角残留的压痕深度很浅,直接证明了Si的压痕区具有很大的弹性回复量.