随着电子信息产业的快速发展，市场对靶材的质量提出了越来越高的要求。热等静压技术作为一种材料成形及特殊热处理方法，经过多年发展，已成为制备高品质靶材的重要手段。简要介绍了热等静压技术的发展、设备工作原理以及难熔金属靶材的性能要求。重点介绍了热等静压技术在高品质难熔金属Mo、W、Cr及其合金靶材制备中的应用，以及热等静压工艺对其微观组织及溅射性能的影响。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
