使用SiO_2介质膜实现InGaAsP量子阱混杂(英文)

作者：张靖陆羽王圩

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2003, (08): 785-788.

• 光子集成回路
• 量子阱混杂
• 无杂质空位扩散
• 波长蓝移 photonic integrated circuit
• quantum well intermixing
• IFVD
• wavelength blue shift

报道了使用SiO2 介质膜导致的无杂质空位扩散实现InGaAsP多量子阱混杂的实验 ,得到 2 0 0nm的最大带隙波长蓝移 .另外 ,采用量子阱混杂制作了蓝移的FP腔激光器 ,其性能与未混杂的激光器相当

• 出版日期2003
• 单位中国科学院半导体研究所