AlSb/GaAs异质外延薄膜应变的HRTEM几何相位分析

作者：贺小庆; 温才; 卢朝靖; 段晓峰

来源：电子显微学报, 2009, 28(4).

DOI：10.3969/j.issn.1000-6281.2009.04.007

• 高分辨透射电子显微术
• 异质结
• 应变
• 失配位错

用几何相位分析(geometric phase analysis,GPA)方法研究了AlSb/GaAs异质外延薄膜的应变.此方法基于高分辨像的傅里叶变换.通过选择傅里叶变换点分辨率以内的某个强衍射,做反傅里叶变换得到晶格条纹的相对的相位分布,进一步得到应变分布.Bragg滤波条纹像确认了60°和90°失配位错的存在.分析讨论了位错核心区域应变分布差异的可能机制.

• 出版日期2009
• 单位青岛大学; 湖北大学