分子束外延材料表面椭圆缺陷的研究进展

作者：王红梅; 孔梅影

来源：材料研究学报, 1997, (04): 337-345.

• 分子束外延
• 椭圆缺陷
• Ga液滴
• Ga氧化物
• 衬底沾污 MBE oval defects Ga droplets Ga oxide substrate contanimation

综述了分子束外延材料的表面缺陷──主要是椭圆缺陷──的种类、特征、起因、消除方法等，重点介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素，如Ga小液滴、Ga的氧化物及衬底沾污等，并提出相应的改进措施。

• 出版日期1997
• 单位中国科学院半导体研究所