浅谈清洗机常见故障及处理办法

作者:石博平; 苏金保
来源:电子世界, 2019, (22): 155.
DOI:10.19353/j.cnki.dzsj.2019.22.078

摘要

<正>清洗机是玻璃基板在进行涂布、曝光、显影、镀膜等制程前对玻璃表面进行清洁、干燥处理的设备机台。故障发生是在实际生产过程中无法避免的问题,本文主要阐述了清洗机常见故障发生的原因及处理办法,只有熟悉故障发生的确切原因,了解相关的处理办法才能更好的使用清洗机来帮助我们加工生产更多优质产品,提高生产效率及良率。1.传送故障1.1故障说明Sensor OFF/on Gap Alarm即故障位置玻璃基板与前进位

  • 出版日期2019

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