摘要

采用热蒸发法制备氧化锡薄膜,结合相关理论制定了一系列实验。在不同的工艺条件下制备了氧化锡薄膜,研究了温度、基片距离和环境压力对薄膜的影响,并利用X射线衍射仪、拉曼谱仪对薄膜进行了成分及结构测试,用阴极发光方法测定了薄膜的发光性质。

  • 出版日期2009
  • 单位湖北汽车工业学院