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摘要
本发明公开了一种磁性隧道结传感单元、制作方法及惠斯通电桥,其中磁性隧道结传感单元包括：种子层、固定层和势垒层；第一合成反铁磁自由层,其第一表面设置在势垒层上；第二合成反铁磁自由层,其第一表面设置在势垒层上；第一覆盖层,其第一表面与第一合成反铁磁自由层的第二表面连接；第二覆盖层,其第一表面与第二合成反铁磁自由层的第二表面连接；其中,种子层、固定层、势垒层、第一合成反铁磁自由层和第一覆盖层构成MTJ1,种子层、固定层、势垒层、第二合成反铁磁自由层和第二覆盖层构成MTJ2。本发明在一个MTJ传感单元上实现了两个固定层磁化方向相反的MTJ桥臂,减小了结构的复杂性。本发明可广泛应用于磁性隧道结传感器。
- 出版日期2023-2-8
- 单位华南理工大学
