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摘要
本发明属于精密制造测量领域,公开一种基于飞秒脉冲的多目标3D表面形貌测量方法,包括如下步骤,1),构建飞秒激光扫频干涉多目标3D表面形貌测量装置,将飞秒激光振荡器的重复频率锁定到可扫频参考信号模块；其特征在于,2),使用单模长光纤和色散补偿光纤的不等臂组合模块,提高目标表面扫描速度；3),同光源波段转换及多目标表面形貌测量,采用不同光波段,使用干涉系统(是否为干涉仪),实现多目标表面不同脉冲的低相干干涉并采集干涉图；4)通过图像采集装置进行数据处理,实现多个目标的3D表面形貌轮廓重构。具有测量精度高、测量速度快、测量范围大的优点。
- 出版日期2019-4-26
- 单位合肥工业大学
