电子束曝光机的软件系统

作者：沈国鏐

来源：现代科学仪器, 1994, (01): 23-24.

• 软件系统
• 数据处理软件
• 电子束流
• 软件开发
• 图形转换
• 控制软件
• 畸变校正
• 实时软件
• 测试程序
• 套刻

电子束曝光机是研制大规模集成电路的重要设备。它的运行必须由计算机进行控制并提供数据。本文简要地介绍了之类曝光机所需的控制软件及数据处理软件的构成及功能，并介绍了软件开发中的一些考虑。

• 出版日期1994
• 单位中国科学院电工研究所