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A study on co-axial water-jet assisted fiber laser grooving of silicon
作者：Madhukar Yuvraj K; Mullick Suvradip; Nath Ashish K
来源：
Journal of Materials Processing Technology
, 2016, 227: 200-215.
DOI：10.1016/j.jmatprotec.2015.08.013
出版日期
2016-1
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