物理气相沉积（PVD）TiN镀层已获广泛应用。为进一步改善TiN镀层的性能，近年来致力于复合处理的研究，其中等离子氮化（PN）＋PVDTiN复合镀层的性能尤为优良，本文综述了其工艺、组织和性能之间的关系。
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