摘要

<正> 晶体管、集成电路、单板计算机和微处理机的小型化发展趋势,正在日益加深微型电路同体积庞大、价钱昂贵的机械构件——阀门、管道、仪器仪表和各种传感器之间的矛盾。为适应微电子学革命的发展,迫切要求科研工作者尽快研制出能够与微型电路相匹配的微型机器。