摘要

介绍了用于宽带快速信息传输系统的半导体瞬态浪涌保护器件(SSPD)在小的器件面积和小的器件电容情况下,提高SSPD浪涌吸收能力的工艺方法。理论分析和实验结果都说明,关键是减少基区总宽度,而在制备工艺中设法减少基区少子寿命的衰减也是有效措施之一。